Cắt SiC và chất bán dẫn hợp chất


High-precision Diamond Wire Cutting Systems for Substrate Slicing

SiC ingots, compound semiconductor substrates and wide-bandgap materials experience significant mechanical stress and thermal impact during high-speed slicing. To ensure excellent surface quality, minimal sub-surface damage and avoid chipping or micro-cracks that lead to device failure, semiconductor manufacturers require highly stable cutting processes and precise process control. This is the only way to achieve reliable, high-yield production of high-quality wafers.

Processing SiC and compound semiconductors involves extremely high material and production costs. Around 30% of total substrate manufacturing cost comes from inefficient cutting, material loss and low yield, rather than raw materials alone. Choosing the right diamond wire cutting systems for specific applications can therefore greatly reduce production costs and improve efficiency.

High-precision diamond wire saws are used to slice hard, brittle ingots into thin wafers with stable tension and feed control. Their operating parameters are optimized for a stable process window with consistent wire tension, low vibration and narrow kerf width.

Chế tạo SiC và chất bán dẫn hợp chất

ewirexon SiC & Compound Semiconductor Diamond Wire Cutting System

The new SiC & Compound Semiconductor diamond wire cutting systems from ewirexon are specially developed for high-precision slicing of SiC ingots and wide-bandgap substrates, where ultra-high wafer yield and minimal surface damage are required. The new SiC Series achieves significantly higher material yield than competitor products in this application area. The use of our cutting systems enables savings in production costs for semiconductor fabs. Another positive side effect is the reduction of material waste and surface damage.

  • Potential savings in production costs through higher material yield of the cutting systems in typical SiC processing lines
  • Sử dụng tối ưu các nguồn lực
  • Tiết kiệm chi phí nguyên vật liệu trong quá trình sản xuất nhờ giảm thiểu tổn thất do vết cắt và hư hỏng bên dưới bề mặt
  • Thiết kế thiết bị linh hoạt và gọn nhẹ nhờ cấu trúc mô-đun và kích thước nhỏ gọn
  • Việc lắp đặt và bảo trì trở nên dễ dàng hơn nhờ cách vận hành thân thiện với người dùng và tính năng giám sát từ xa
  • Giảm chi phí bảo trì nhờ tuổi thọ dài hơn của dây kim cương và các bộ phận máy móc
  • Các giải pháp hệ thống trọn gói tiết kiệm chi phí nhờ các thông số quy trình được tùy chỉnh và tích hợp hệ thống toàn diện
  • Chế tạo SiC và chất bán dẫn hợp chất
  • Power Semiconductor Wafer Manufacturing
  • Ingot Slicing & Substrate Processing
  • Wide-Bandgap Material Cutting
  • Các phòng thí nghiệm nghiên cứu và phát triển (R&D) và các dây chuyền sản xuất thử nghiệm
  • Advanced Packaging Facilities
SỐ.Tham sốThông số kỹ thuật
1MẫuTCQF400LNC-FM-HL
2Nguyên lý cắtDây kim cương vô tận / Cắt cơ học
3Các chức năng cắtCắt lát / Cắt theo góc và hình dạng
4Kích thước tối đa của phôi (mm)Đường kính Φ600mm, Chiều cao 500mm
5Kích thước bàn làm việc (mm)Ø380 转台
6Độ chính xác về độ phẳng khi cắt (mm)0.08
7Độ nhám bề mặt (μm)Ra 0,8 μm
8Thông số kỹ thuật dây (mm)Ø0,65–1,0/2580
9Hệ thống căng dâyKiểm soát độ căng dây không đổi
10Số lượng bánh dẫn hướng4 bánh xe
11Động cơ truyền độngĐộng cơ servo
12Tốc độ dây (m/s)51Max (Có thể điều chỉnh)
13Tổng công suất (kW)2.8
14Điện áp220 V, 50 Hz
15Hệ thống điều khiểnHệ thống Tongcheng T32 được phát triển theo yêu cầu
16Kích thước (Dài × Rộng × Cao) (mm)1350×1066×1968
17Trọng lượng tổng kg720
ewirexon - ewirexon precision diamond wire cutting system

Case Study: SiC & Compound Semiconductor Processing

This case study shows how the optimal selection of ewirexon diamond wire cutting systems can help boost wafer yield for SiC & compound semiconductor processing by up to 15% and thus sustainably lower the production costs of power semiconductor fabs. In addition, ewirexon’s SiC slicing solution delivers minimal surface damage, reduced material waste and higher production throughput compared to conventional cutting methods.

Bạn muốn tìm hiểu thêm về các dự án tiêu biểu? Hãy liên hệ với chúng tôi bất cứ lúc nào!

Hãy liên hệ với chúng tôi!

Hãy tải lên các bản vẽ 2D và ít nhất một tệp CAD 3D để nhận báo giá nhanh hơn và chính xác hơn. Nếu bạn có nhiều tệp, vui lòng nén chúng thành tệp .zip hoặc .rar. Bạn thích gửi email hơn? Hãy gửi yêu cầu báo giá (RFQ) của bạn đến info@xxx.com.

Tin tức & Cập nhật

Thick glass core substrate blank being prepared with an endless diamond wire saw and controlled coolant

Máy cưa dây kim cương trong nghiên cứu và phát triển vật liệu nền lõi thủy tinh: Những trường hợp phù hợp và những trường hợp không phù hợp

Tìm hiểu vai trò của công nghệ cắt bằng dây kim cương trong nghiên cứu và phát triển (R&D) chất nền lõi thủy tinh, cách kiểm soát hư hỏng mép, cũng như khi nào nên chọn phương pháp tách bằng laser hoặc lưỡi dao là lựa chọn tối ưu hơn.

Tìm hiểu thêm »