微电子元件精密切割


用于高精度部件切片的金刚石线切割系统

在高速切片过程中,微电子元件和精密基板会承受极大的应力。为了确保超高精度、将亚表面损伤降至最低,并避免导致性能下降的芯片开裂,器件制造商需要稳定的切割动力学和精确的工艺控制。这是实现微电子元件可靠、高良率生产的唯一途径。.

微电子加工涉及高昂的材料和生产成本。总制造成本中约有30%归因于切割效率低下、切缝损耗过大以及良率较低。因此,根据具体应用选择ewirexon金刚石线切割系统,将对降低生产成本起到决定性作用。.

高精度线锯用于将坚硬且脆性的部件切割成薄片,并能实现稳定的张力控制。其运行参数通常处于最佳工艺窗口内,该窗口的特点是张力稳定、振动小且切割宽度窄。.

微电子元件精密切割

ewirexon 微电子元件精密切割金刚石线锯

ewirexon 推出的新型微电子元件精密切割金刚石线锯,专为微电子元件和脆性硬质基板的超高精度切割而开发,这些应用场景要求极高的切割精度和极低的材料损耗。 与该应用领域的竞品相比,全新微电子系列在切割精度和材料利用率方面均实现了显著提升。采用我们的切割系统,可帮助微电子制造商降低生产成本。此外,该系统还能减少材料浪费和表面损伤。.

  • 通过提高典型微电子加工生产线中切割系统的材料利用率,有望降低生产成本
  • 最佳利用资源
  • 由于切口损失和表层下损伤最小,生产中可节省材料成本
  • 由于采用模块化结构,占地面积小,因此设备设计灵活紧凑
  • 通过用户友好型操作和远程监控,安装和维护过程中的操作更加简便
  • 通过延长金刚石线和机器部件的使用寿命来降低维护成本
  • 通过定制工艺参数和全面系统集成,提供经济的交钥匙系统解决方案
  • 微电子元件精密切割
  • 半导体晶圆切割
  • 精密基板加工
  • 脆硬材料切割
  • 研发实验室和中试生产线
  • 先进封装与微加工设施
不.参数规格
1模型(可自定义,例如 EW-200)
2切割原理金刚线机械冷切割
3切割功能切片
4工件最大尺寸(长×宽×高)150 × 150 × 150 毫米
5工作台尺寸(长×宽)160 × 160 毫米
6切割平整度精度≤ 0.1 毫米
7表面粗糙度Ra 0.8 μm
8金刚石线规格Φ0.5 × 1797 毫米(直径范围:0.35~0.8 毫米)
9张力系统伺服张力控制
10导轮数量3个轮子
11驱动电机定制伺服电机
12主轴转速4500 转/分
13主电机功率1.1 千瓦
14总功耗1.5 千瓦
15电源220 V / 50 Hz
16控制系统自主研发的通城T30
17占地面积(长×宽×高)约 850 × 800 × 950 毫米
18毛重约560千克
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案例研究:微电子元件的精密切割

本案例研究展示了如何通过优化选择ewirexon金刚石线切割系统,将微电子元件的切割精度提升高达99.9%,从而可持续地降低先进半导体工厂的生产成本。 此外,与传统切割方法相比,ewirexon的精密切割解决方案可将材料损耗降至最低,实现超平滑的表面质量,并提高生产吞吐量。.

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