高精度部品切断用ダイヤモンドワイヤー切断システム
マイクロエレクトロニクス部品や精密基板は、高速スライシングの過程で極度の応力にさらされます。超高精度を確保し、表面下の損傷を最小限に抑え、性能低下につながるチップの亀裂を防ぐためには、デバイスメーカーは安定した切削ダイナミクスと精密なプロセス制御を必要としています。これこそが、マイクロエレクトロニクス部品の信頼性の高い高歩留まり生産を実現する唯一の方法です。.
マイクロエレクトロニクス加工には、高い材料費と製造コストが伴います。製造コスト総額の約30%は、非効率な切断、過大な切断溝によるロスの発生、および低歩留まりに起因しています。したがって、用途に応じてewirexonのダイヤモンドワイヤー切断システムを適切に選定することは、製造コストの削減に決定的な役割を果たすことができます。.
高精度ワイヤーソーは、硬くて脆い部品を、張力を安定して制御しながら薄いウェハーに切断するために使用されます。その動作パラメータは通常、安定した張力、低振動、狭い切断幅を特徴とする最適なプロセスウィンドウ内に収まります。.
ewirexon社の新しい「マイクロエレクトロニクス部品用精密切断ダイヤモンドワイヤーソー」は、超高精度の切断精度と材料ロスの最小化が求められる、マイクロエレクトロニクス部品や脆性・高硬度基板の高精度スライス用に特別に開発されました。 この新しい「マイクロエレクトロニクスシリーズ」は、この用途分野において、競合製品よりも大幅に高い切断精度と材料歩留まりを実現しています。当社の切断システムを採用することで、マイクロエレクトロニクスメーカーは生産コストの削減が可能となります。また、材料の無駄や表面損傷の低減という副次的なメリットもあります。.
| NO. | パラメータ | 仕様 |
| 1 | モデル | （カスタマイズ可能、例：EW-200） |
| 2 | 切断の原理 | ダイヤモンドワイヤーによる機械式冷間切断 |
| 3 | 切断機能 | スライス |
| 4 | ワークピースの最大寸法（長さ×幅×高さ） | 150 × 150 × 150 mm |
| 5 | 作業台のサイズ（長さ×幅） | 160 × 160 mm |
| 6 | 切断平坦度精度 | ≤ 0.1 mm |
| 7 | 表面粗さ | Ra 0.8 μm |
| 8 | ダイヤモンドワイヤーの仕様 | Φ0.5 × 1797 mm（直径範囲：0.35～0.8 mm） |
| 9 | テンションシステム | サーボ式張力制御 |
| 10 | ガイドホイールの数量 | 3つの車輪 |
| 11 | 駆動モーター | 特注サーボモーター |
| 12 | 主軸回転数 | 4500 rpm |
| 13 | 主モーター出力 | 1.1 kW |
| 14 | 総消費電力 | 1.5 kW |
| 15 | 電源 | 220 V / 50 Hz |
| 16 | 制御システム | 自社開発のTongcheng T30 |
| 17 | 外形寸法（長さ×幅×高さ） | 約 850 × 800 × 950 mm |
| 18 | 総重量 | 約560kg |
このケーススタディでは、ewirexon社のダイヤモンドワイヤー切断システムを最適に選定することで、マイクロエレクトロニクス部品の切断精度を最大99.9%まで向上させ、それによって最先端の半導体ファブの生産コストを持続的に削減できることを示しています。 さらに、ewirexonの精密切断ソリューションは、従来の切断方法と比較して、材料ロスを最小限に抑え、極めて滑らかな表面品質を実現し、生産スループットを向上させます。.
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